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碳化硅板质地硬而脆，膨胀系数小、能耐急冷急热，不易变形，有良好的化学稳定性，抗酸能力极强，与强酸不反应，抗碱能力较差，在高温下能腐蚀分解棒体。氯气能使元件分解，氢、氮气有不同程度的侵蚀作用。
氮化硅结合碳化硅制品，质地坚硬，莫氏硬度约为9，是非金属材料中属于高硬度材料。仅次于金刚石。 氮化硅结合碳化硅制品的常温强度高，在1200℃—1400℃高温下，几乎保持与常温时间相同的强度和硬度。随使用气氛的不同，最高安全使用温度可达到1650℃—1750℃.。 热膨胀系数小，热导率高，不易产生热应力，具有良好热震稳定性，高温抗蠕变能力强，耐腐蚀，抗氧化，易制成尺寸精度高符合要求的制品，等诸多优点。
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