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碳化硅板质地硬而脆,膨胀系数小、能耐急冷急热,不易变形,有良好的化学稳定性,抗酸能力极强,与强酸不反应,抗碱能力较差,在高温下能腐蚀分解棒体。氯气能使元件分解,氢、氮气有不同程度的侵蚀作用。
氮化硅结合碳化硅制品,质地坚硬,莫氏硬度约为9,是非金属材料中属于高硬度材料。仅次于金刚石。 氮化硅结合碳化硅制品的常温强度高,在1200℃—1400℃高温下,几乎保持与常温时间相同的强度和硬度。随使用气氛的不同,最高安全使用温度可达到1650℃—1750℃.。 热膨胀系数小,热导率高,不易产生热应力,具有良好热震稳定性,高温抗蠕变能力强,耐腐蚀,抗氧化,易制成尺寸精度高符合要求的制品,等诸多优点。
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