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平整度好、表面光洁、有良好的电气性能；导热系数高、有与其它材料相匹配的热膨胀系数；有良好的机械性能；耐高温、高压，稳定度高。

耐高温、耐高压、耐强酸碱腐蚀、热震稳定性好、化学性能稳定的特点。

具有高硬度、高密度、磨耗低、等特点

碳化硅板质地硬而脆，膨胀系数小、能耐急冷急热，不易变形，有良好的化学稳定性，抗酸能力极强，与强酸不反应，抗碱能力较差，在高温下能腐蚀分解棒体。氯气能使元件分解，氢、氮气有不同程度的侵蚀作用。