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碳化硅真空吸盘
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联系人信息
产品特点
特点和优势
具有精确的尺寸和热稳定性
良好的导热性、低膨胀系数和均温性能
极高的耐磨性和表面光洁度，孔径细小且分布均匀，对晶圆各区域可以均匀吸附
具有优秀的耐酸碱腐蚀性能
耐电浆冲击性
产品详情
Coresic® SP碳化硅真空吸盘经等静压工艺成型、高温烧结而成。可根据用户设计图纸要求进行外形尺寸，厚度尺寸和形状进行精加工，以满足用户的具体使用要求。
典型应用
在半导体制造中，将极薄的晶圆放置在碳化硅真空吸盘上，连接真空发生器，利用真空吸力使晶圆固定。
应用于光刻、刻蚀、激光处理、晶圆检测等制程。
规格型号
可以根据客户的图纸定制加工。
贸易信息
| 可接受的付款方式 |
