该产品由 山东金鸿新材料股份有限公司 发布
碳化硅悬臂桨
手机查看产品 浏览量: 0
经营模式
生产型 贸易型
产品类别
-
生产工艺
-
联系人信息
产品特点
反应烧结碳化硅悬臂桨,是半导体晶圆装载系统的关键部件。
悬臂桨性能稳定,在高温环境不变形,晶圆装载量大,适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂桨截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。悬臂桨与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD,极大地延长了维护清洗周期,并大幅减少污染物。
产品详情
提供碳化硅悬臂桨,如果您对我们的产品感兴趣,请联系我们。