碳化硅炉管

一、产品介绍

碳化硅炉管是以高纯度碳化硅为原料，经高压成型、高温烧结制成的陶瓷管状构件，是高温热处理炉的核心腔体部件，承担工件加热、反应与保护功能。主流分为反应烧结（SiSiC）与无压烧结（SSIC）两类，二者及相关工艺在制备、性能上差异显著：RB-SiC经硅碳反应烧结而成，含少量游离硅，性价比高、成型性佳，适合复杂形状炉管；SSIC添加烧结助剂常压高温烧结，纯度超99%、无游离硅，密度与强度更优。

二、规格

规格适配多元炉体，内径覆盖50-300mm，长度1-4米，壁厚5-20mm，可定制直管、弯管及法兰一体化结构。形位精度严苛，圆度误差≤0.5mm，直线度误差≤0.1mm/m，接口可按需匹配设备法兰，满足真空、常压等不同工况安装需求。

三、场景应用

应用场景依性能分级适配：SSIC适配半导体扩散炉、高端光伏退火炉等精密高温工况，保障晶圆掺杂、硅片钝化工艺精度；SiSiC适用于稀土材料烧结炉、普通陶瓷烧制炉等中低温场景，兼顾实用性与成本。相较于传统石英炉管，二者使用寿命均延长5倍以上，大幅降低维护与耗材成本。