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特点和优势 热导率高,均温性好,传热散热快,热响应速度快(加热和冷却速度) 高温抗氧化性好 高温不变形,平面度佳 耐磨性好,不会产生粉尘污染物

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特点和优势 良好的导热性、低膨胀系数和均温性能 耐电浆冲击性 可以根据客户的具体尺寸要求制作,最大直径可以达到495MM 耐各种强酸强碱化学试剂腐蚀

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特点和优势 高致密性 良好的导热性、低膨胀系数和均温性能 耐电浆冲击性 耐各种强酸强碱化学试剂腐蚀 经过半导体级别清洗

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特点和优势 Coresic® SP碳化硅从室温到1000℃,对气体不透性至31MPa, 可以耐高压。 Coresic® SP碳化硅具有高纯度(大于99%的SiC含量), 不会污染物料。 …

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特点和优势 良好的导热性、低膨胀系数和均温性能。 相比传统的刚玉载盘,缩短上下料加热与冷却时间,提升工作效率;同时可降低上下盘之间磨损,保持良好的平面精度,延长使用寿命约40%。 材料比…

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特点和优势 优秀的导热性、低膨胀系数, 抗热冲击性佳。 耐电浆冲击性 耐各种强酸强碱化学试剂腐蚀

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特点和优势 Coresic® SP碳化硅封头尺寸精度±1.0mm,厚度±0.1mm,也可根据客户要求进行精加工,精度更高。 Coresic® SP碳化硅封头具有全面的耐腐蚀特性,能够在硫酸…

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特点和优势 Coresic® SP碳化硅管板尺寸精度±1.0mm,厚度±0.1mm,也可根据客户要求进行精加工,精度更高。 Coresic® SP碳化硅管板具有全面的耐腐蚀特性,能够在硫酸…

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特点和优势 Coresic® SE碳化硅换热管的直线度标准:直线度(单位:mm/m)≦1.2%。每根换热管产品都要完全通过标准管检验才能出厂。 Coresic® SE碳化硅换热管的耐水压测…

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特点和优势 Coresic® SE碳化硅反应管的直线度标准:直线度(单位:mm/m)≦1.2。每根反应管产品都要完全通过标准管规检验才能出厂。 Coresic® SE碳化硅反应管的耐水压测…

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特点和优势 具有精确的尺寸和热稳定性 高比刚度和出色的热均匀性,长期使用不易弯曲变形; 具有光滑的表面,耐磨性佳,从而安全地处理晶片而不产生颗粒污染。 Coresic® SP碳化硅电阻…

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特点和优势 具有精确的尺寸和热稳定性 良好的导热性、低膨胀系数和均温性能 极高的耐磨性和表面光洁度,孔径细小且分布均匀,对晶圆各区域可以均匀吸附 具有优秀的耐酸碱腐蚀性能 耐电浆冲击…