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碳化硅板质地硬而脆，膨胀系数小、能耐急冷急热，不易变形，有良好的化学稳定性，抗酸能力极强，与强酸不反应，抗碱能力较差，在高温下能腐蚀分解棒体。氯气能使元件分解，氢、氮气有不同程度的侵蚀作用。