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特点和优势 良好的导热性、低膨胀系数和均温性能。 相比传统的刚玉载盘，缩短上下料加热与冷却时间，提升工作效率；同时可降低上下盘之间磨损，保持良好的平面精度，延长使用寿命约40％。 材料比…
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特点和优势 具有精确的尺寸和热稳定性 高比刚度和出色的热均匀性，长期使用不易弯曲变形； 具有光滑的表面，耐磨性佳，从而安全地处理晶片而不产生颗粒污染。 Coresic® SP碳化硅电阻…
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特点和优势 具有精确的尺寸和热稳定性 良好的导热性、低膨胀系数和均温性能 极高的耐磨性和表面光洁度，孔径细小且分布均匀，对晶圆各区域可以均匀吸附 具有优秀的耐酸碱腐蚀性能 耐电浆冲击…
