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碳化硅真空吸盘
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联系人信息
产品特点
特点和优势
具有精确的尺寸和热稳定性
良好的导热性、低膨胀系数和均温性能
极高的耐磨性和表面光洁度，孔径细小且分布均匀，对晶圆各区域可以均匀吸附
具有优秀的耐酸碱腐蚀性能
耐电浆冲击性
产品详情
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