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碳化硅机械手臂
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产品特点
特点和优势
具有精确的尺寸和热稳定性
高比刚度和出色的热均匀性，长期使用不易弯曲变形；
具有光滑的表面，耐磨性佳，从而安全地处理晶片而不产生颗粒污染。
Coresic® SP碳化硅电阻率在106-108Ω、无磁性，符合抗ESD的规范要求；可以防止静电在晶片表面积聚。
良好的导热性、低膨胀系数。
规格型号
产品详情
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