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碳化硅机械手臂
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产品特点
特点和优势
具有精确的尺寸和热稳定性
高比刚度和出色的热均匀性,长期使用不易弯曲变形;
具有光滑的表面,耐磨性佳,从而安全地处理晶片而不产生颗粒污染。
Coresic® SP碳化硅电阻率在106-108Ω、无磁性,符合抗ESD的规范要求;可以防止静电在晶片表面积聚。
良好的导热性、低膨胀系数。
规格型号
产品详情
Coresic® SP碳化硅机械手臂经等静压工艺成型、高温烧结而成。可根据用户设计图纸要求进行外形尺寸,厚度尺寸和形状进行精加工,以满足用户的具体使用要求。
典型应用
用于半导体各制程中晶圆的传输。
可以根据客户的图纸,加工不同形状和尺寸的手臂。
贸易信息
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