Risesun Hotbar - 涂层硅碳棒
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碳化硅加热元件可在不同气氛的炉内使用，但在一些气氛条件下元件的使用寿命会受到影响而缩短，为了延长元件在不同气氛中的使用寿命，我们准备了不同类型的涂层来保护元件的碳化硅结构，以防其加速老化，主要有A、B、C、D、等类型的涂层。
碳化硅加热元件可在不同气氛的炉内使用，但在一些气氛条件下元件的使用寿命会受到影响而缩短，为了延长元件在不同气氛中的使用寿命，我们准备了不同类型的涂层来保护元件的碳化硅结构，以防其加速老化，主要有A、B、C、D、等类型的涂层。但事实上，一个炉内几种有害的挥发物可能同时存在，甚至本来无害的挥发物由于与其它挥发物混合成为有害物，从而影响元件的使用寿命。由于不同类型的涂层在不同气氛中所体现的使用效果不同，选择涂层时需先针对具体问题做小批量的试验，以发现最佳方案，选用一种最适用的涂层。
元件在不同气氛下使用的影响和推荐的涂层
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气氛 |
对元件的影响 |
解决办法 |
推荐涂层 |
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水蒸汽和湿气 |
比在干燥大气中使用寿命缩短约20% |
新炉子运行或旧炉子长时间不工作再使用时，要先低温充分干燥后再升温 |
A涂层 |
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氮气 |
温度超过1400度时氮气与碳化硅反应生成氮化硅，使元件变脆，寿命缩短，受露点影响与氢气的状况相同 |
建议炉温在1300度以下使用，表面负荷尽量小 |
B涂层 |
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氢气 |
元件上升到1350度以后电阻急速增加，机械强度也下降，而且根据气体干湿的不同寿命也差别很大 |
建议炉温在1300度以下使用，表面负荷小于5Ｗ/CM2 |
C涂层 |
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氨气 |
与氢气、氮气的状况相同 |
建议炉温在1300度以下使用，表面负荷小于5Ｗ/CM2 |
B涂层 C涂层 |
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分解气体 （N2，CO，CO2，H2，CH4） |
加热过程中元件表面附着分解后碳黑，造成棒体疏松 |
经常向炉内输送空气，让多余的碳燃烧。在炉子构造方面，保持加热元件间有足够的间隔以防止短路. |
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硫 （S、S2） |
元件温度升到1300度后，元件表面被侵蚀，电阻急剧增加 |
将元件温度控制在1300度以下 |
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真空 |
在高真空中不能生成二氧化硅保护膜，碳化硅自行分解，寿命缩短 |
在0.13Pa以上的压力和1100度以下的炉温使用 |
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其他 |
由被处理物产生的各种物质，如铅、锑、碱金属的化合物与元件反应，使其寿命缩短。 |
预先将这些物质从处理物中除掉，炉内设排气口以便减弱其影响 |
D涂层 |
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