反应烧结氮化硅

反应烧结法(RS)：
是采用一般成型法， 先将硅粉压制成所需形状的生坯， 放入氮化炉经预氮化(部分氮化)烧结处理， 预氮化后的生坯已具有一定的强度， 可以进行各种机械加工(如车、 刨、 铣、 钻)。 最后， 在硅熔点的温度以上； 将生坯再一次进行完全氮化烧结， 得到尺寸变化很小的产品(即生坯烧结后， 收缩率很小， 线收缩率<011%).
该产品一般不需研磨加工即可使用。

反应烧结氮化硅优缺点：
反应烧结法适于制造形状复杂， 尺寸精确的零件， 成本也低， 但氮化时间很长。反应烧结法制得的氮化硅制品体积密度为气孔率较高、强度不高但适宜制作形状复杂的制品。

反应烧结氮化硅制作流程：
采用一级结晶硅块，在球磨中湿磨，酒精作研磨介质，磨至小于0.07mm。然后净化原料,配料制成坯体。成型方法可采用浇注法、模压法热压注法或等静压成型方法等。成型时要使素坯密度达到一定要求。
素坯先在氮化炉中进行氮化处理，可采用钼丝电炉或二硅化钼棒电炉。炉膛要密封严紧以保证抽真空和使用的安全性。硅和氮在约 970~1000℃开始反应，并随着温度升高反应速率加快。但如果温度很快上升超过硅熔点时，则坯体会由于硅熔融而坍塌。故必须在远低于熔点的温度中预先氮化。氮化炉内为95%氮气和5%氢气混合气氛在1180~1210℃下氮化1-1.5小时。氮化程度约为9%。炉内垫板为氮化硅质材料。
素烧后的坯体进行机械加工时要避免与水接触、进刀和车速不宜太快将坯品加工至成品所需尺寸。
最后进行氮化烧成。氮化温度可采用低于硅熔点1420℃和高于硅熔点分阶段保温氮化方法。