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反应烧结制备碳化硅工艺系在碳化硅粉料中预混入适量含碳物质，在高温下碳与碳化硅粉料中残余硅发生反应，形成致密结构的碳化硅陶瓷。反应烧结工艺具有烧结温度低、烧结时间短，近净尺寸成型等之优点。