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Al₂O₃精密氧化铝陶瓷基片
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氧化铝陶瓷基片具有良好的绝缘性、绝热性和耐磨性,因价格相对便宜,且其综合性能均衡,是应用范围最广泛的陶瓷材料之一。高纯(99.5%及以上)氧化铝耐腐蚀和耐等离子体刻蚀性能良好,被广泛应用在泛半导体设备中。
主要特征:
绝缘性、绝热性、耐磨性、耐腐蚀性、耐等离子体刻蚀性。
主要应用:
泛半导体设备(LCD和LED等制造设备)备件、绝缘件、耐磨件、通用机械、液压部件。
技术指标 :
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